icp光譜儀又稱電感耦合等離子體發射光譜儀，主要由進樣系統、電感耦合等離子體光源(ICP)、光譜儀的分光(色散)系統以及檢測器-光電轉換器件等部分組成。其中，進樣系統是重要組成部分之一，也是當前ICP光譜分析研究中較為活躍的領域，涵蓋液體、氣體或者固體進樣。
在使用ICP光譜儀的過程中，經常會遇到很多問題，找到原因，然后解決這些問題。
1、分析法分析中靈敏度漂移的校正：
在測定過程中，氣體壓力改變會影響到原子化效率和基態原子的分布；另外，毛細管阻塞、廢液排泄不暢，會使溶液提升量和霧化效率受到影響；以及電壓變化甚至環境溫度等諸多因素都會使靈敏度發生漂移，其校正方法可每測１０個樣品加測一個與樣品組成接近的質控樣，并根據所用儀器的新舊程度適當縮短標準化的時間間隔。
2、ICP分析中如何避免樣品間的互相沾污：
測量時，不要依次測量濃度懸殊很大的樣品，可把濃度相近的樣品放在一起測定，測定樣品之間，應用蒸餾水沖洗，進標準樣品測試標準曲線時，應該從低標到高標儀次進樣。
3、分析法中，用來分解樣品的酸，需要滿足的條件：盡可能使各種元素迅速、*分解；所含待測元素的量可忽略不計；分解樣品時，待測元素不應損失；與待測元素間不形成不溶性物質；測定時共存元素的影響要小；不損傷霧化器、炬管等。
4、配制ICP光譜儀分析用的多元素貯備標準溶液的注意事項：
溶劑用高純酸或超純酸；用重蒸的離子交換水；使用光譜純、高純或基準物質；把有的元素元素分成幾組配制，避免譜線干擾或形成沉淀。比如測硅時就要單獨測硅。
5、在分析法中，為什么要特別重視標準溶液的配置？
不正確的配置方法將導致系統偏差的產生；介質和酸度不合適，會產生沉淀和渾濁；元素分組不當，會引起元素間譜線干擾；試劑和溶劑純度不夠，會引起空白值增加、檢測限變差和誤差變大。
