元素分析儀生成的氣體隨后被凈化，除雜。燃燒生成的氣體用氦氣做載氣傳送。在氮氧化物被還原后，混合氣體被吸附/脫附柱根據不同的組分分離，并分別依次通過檢測器檢測。根據樣品的重量和存儲的校正曲線形成的檢測信號，儀器給出元素的百分比含量值。穩定時間短，開機后只需45分鐘，待溫度達到預先設定后即可進行測試，大大縮短分析時間。除去水分的氣體再通入燒堿石棉吸收管中，由吸收管前后熱導池信號之差求出二氧化碳含量，zui后一組熱導池測量純氦氣與含氮氣的載氣信號之差，提出氮的含量。元素分析儀具有靈敏度高、動態范圍寬、基體干擾少、標準樣品易獲得等優點，因此目前已越來越多地應用此光源進行化學光譜測定，從而更加促進了化學光譜的發展。